ASML收购Mapper：中美俄荷四国角力的背后故事
全球半导体巨头之争：ASML收购Mapper背后的国际角力
数界探索
近日，一位拥有俄罗斯背景的前ASML员工因涉嫌窃取ASML和MapperLithography的微芯片手册等文件，被荷兰政府拘留，此事引起广泛关注。该工程师曾在电子束光刻设备制造商Mapper工作，之后Mapper被ASML收购，包括该工程师在内的许多员工因此成为ASML的一员。与此同时，Mapper公司及其产品线也被关闭。
那么，为何这位工程师在窃取ASML资料的同时，还会去窃取已经“作古”的Mapper的资料呢？这就不得不提Mapper这家电子束光刻机厂商在2019年被ASML收购背后，中美俄荷之间错综复杂的博弈！ASML收购Mapper的背后故事：四方暗战Mapper公司成立于2000年，专注于研发电子束光刻设备，其技术源自代尔夫特理工大学。
在1990年代，粒子光学专家Pieter Kruit开始研究基于电子束的芯片制造设备。之后，他的两位学生BertJan Kampherbeek和Marco Wieland共同创立了Mapper公司。在这两位创始人中，Wieland是推动公司技术发展的核心人物，而Kampherbeek则主要负责公司的商业运营。Mapper公司采用了一种名为多列电子束光刻（Multibeam）的技术，该技术利用微小透镜将电子束分裂成数万束细小的电子束，再通过这些电子束直接在涂覆有电子抗蚀剂的芯片表面进行精确绘制。
具体来说，从电子源发散出的电子流以平行流的形式通过准直器微距透镜，最终落在Apertute阵列上。这些小孔形成了超过13000束光线。随后，聚光镜阵列将每束光线聚焦到光束空白阵列的孔中心。ASML收购Mapper的背后故事：中美俄荷四方暗斗△Mapper技术图△光束控制方案ASML收购Mapper的背后故事：中美俄荷四方暗斗该阵列采用CMOS和MEMS技术制造，其中包括接收来自激光系统控制光的光电二极管元件。这一设计是根据数据流量（每微列7.6Gbit/s）进行解释的。
淬灭的光线被投射到光束停止阵列上。未被拒绝的光束穿过光束光阑阵列并进入由偏转器和透镜阵列组成的微柱阵列。阵列中的每个微透镜将单独的光束聚焦到晶圆上，并以6MHz的频率和1nm的精度在2μm的范围内偏转。光束在所有微透镜中同时偏转。△Mapper技术中的编写策略ASML收购Mapper的背后故事：中美俄荷四方暗斗。这项技术的优势在于其极高的分辨率（可达到10nm以内，优于EUV光刻机），性能稳定，并且最重要的是不需要昂贵的掩膜板，这使得综合成本大大降低（单台设备约1000万美元）。 这项技术的发展不仅展示了纳米级制造工艺的进步，而且在半导体行业具有革命性的意义。它不仅能够降低生产成本，提高生产效率，还能减少对传统EUV光刻技术的依赖。这可能意味着在全球半导体供应链紧张的情况下，为各国提供了一种新的解决方案，尤其是在面临高昂技术和设备成本的压力时。然而，这项技术的成功应用也可能会引发国际间的竞争与合作，尤其是考虑到背后涉及的中美俄荷四方博弈。随着技术的进一步发展和普及，我们有理由期待它将在未来半导体产业中扮演更加重要的角色。
这使得该技术一度被视为能与EUV光刻机相抗衡的竞争者。尽管Mapper在制造更为微小的芯片方面具备优势，并且成本相对较低，但因速度过慢和效率低下，未能赢得大型客户的支持。据2015年报道，Mapper推出的Matrix1.1版本设备（FLX-1200），每小时仅能生产一片28nm工艺的晶圆，即便曾获得晶圆代工巨头台积电的试用机会，但由于其效率过低，最终仍被放弃。 从这一事件可以看出，尽管某些创新技术在特定方面展现出明显的优势，但在实际应用过程中，整体效率和实用性仍然是决定其能否成功的关键因素。Mapper所面临的问题提示我们，在推动技术创新的同时，还需充分考虑技术的可操作性和经济效益，以确保新技术能够在产业中得到广泛应用。
ASML收购Mapper的背后故事：中美俄荷四方暗斗。最早的Mapper样机相比之下，ASML的光刻机更适合大规模的芯片生产，它能够利用光线一次性实现一层图案，类似于复印机的工作方式，比Mapper那种逐个像素复制的方式更为高效。为了提升光刻效率，Mapper当时的目标是推出13260支电子束的光刻设备Matrix10.1，旨在将单台设备的生产效率提升至每小时10片晶圆。 这种技术上的竞争不仅体现了科技巨头之间的较量，更反映了全球半导体产业格局的变化。ASML收购Mapper不仅仅是一次简单的商业行为，更是对市场主导权的一次争夺。在这一过程中，中美俄荷等国家的利益交织在一起，形成了复杂的战略博弈。ASML作为荷兰的高科技企业，其技术和市场地位使其成为各方关注的焦点。而Mapper的技术虽然具有创新性，但在实际应用中的大规模生产和稳定性方面仍需进一步验证。此次收购不仅是技术上的整合，也是国际地缘政治博弈的一部分，预示着未来半导体行业将更加依赖于技术创新与国际合作。
此外，Mapper还计划推出由10台Matrix机器组成的Matrix10.10集群版本，使每小时的产量提升至100片晶圆。这将显著增强Mapper设备与ASML设备之间的竞争力。Mapper早期在俄罗斯建厂的资金主要来自ASM International的创始人Arthur del Prado和ASML的联合创始人Philips。
2012年，Mapper获得了总部位于俄罗斯莫斯科的投资基金RUSNANO的4000万欧元投资，该基金致力于通过联合投资纳米技术项目来促进俄罗斯纳米技术产业的发展。之后，这家俄罗斯投资基金逐步增加了其在Mapper的持股比例，最终达到27.5%，并促使Mapper在莫斯科设立了一家工厂，专门用于生产所需零部件。此外，Mapper还从荷兰政府获得了数千万欧元的创新信贷。在俄罗斯投资者的推动下，Mapper于2014年在莫斯科建立了工厂，主要任务是生产该公司自用的零部件。
这一切在当时并未遭遇任何反对，即便是在俄罗斯吞并克里米亚的时期。据知情人士透露，Mapper当时在莫斯科的工厂占地面积达两千平方米，其中一半区域为洁净室，配备了高度自动化的现代化设备。除了拥有相关的光刻工艺外，该工厂还运用了氧等离子体刻蚀、反应离子刻蚀、采用博世工艺进行深硅刻蚀、等离子体增强化学气相沉积和离子束沉积等先进技术。尤为关键的是，工厂内还包括Mapper自主研发的光刻计量系统，用于精确控制制造产品的几何形状（Hyper）、电光特性（Stigmatix）以及最终纯度（Particlix）。
根据规划，该工厂首先制造所谓的垫片，用于分离电子光学元件，随后计划生产用于电子束聚焦和准直的电子透镜。自2015年起，该工厂开始制造集成电子器件的MEMS控制电极。参与生产的员工也在Mapper荷兰公司的工厂接受了数月的专业培训。此外，该工厂还吸引了一批在微电子领域拥有丰富国际合作经验的专业人士，其中包括技术总监德尼斯·沙米里安，他曾先后在IMEC和GlobalFoundries工作了大约15年。
RUSNANO董事总经理德米特里·利森科夫曾表示：“对于RUSNANO而言，Mapper光刻技术项目具有特殊的重要性。Mapper位于半导体产业链的前沿，对Mapper的投资增强了RUSNANO在微电子领域的项目协同效应。”然而，Mapper目前正面临财务困境。此前，该公司曾试图寻找中国合作伙伴，但到了2016年，随着创始人普拉多的离世，情况发生了变化。普拉多在其遗嘱中明确表示，他所有的资产都应用于癌症研究，这是因为他曾向妻子许下承诺，而她因这种疾病在很小的时候便不幸去世。
Mapper 在 2018 年初陷入了资金链危机，尽管在这之前已经获得了超过2亿欧元的注资，当时其新机器几乎已经准备就绪，他们的阶段性终点就在视线前。这也使得Mapper迫切需要寻找投资者。当时，Kampherbeek 飞往世界各地，并与日本、新加坡和美国的芯片机制造商交谈，但没有成功。随后，Marco Wieland前往了中国成都市，他试图吸引当地投资者和政府来支持其在中国开发EUV光刻机替代品。而Kampherbeek 则飞往了中国北京与投资基金进行谈判，并发现他们非常感兴趣。
但是， Mapper公司正急切地想要尽快完成一笔交易，以避免即将到来的破产危机。然而，由于中国投资者难以迅速回应Mapper的突然报价，双方的合作最终未能在最佳时机达成。早在2018年夏天，Mapper曾试图从美国国防部获得援助。当时，美国国防部希望最新的芯片技术也能在美国国内实现制造，但美国的芯片制造商如英特尔和格罗方德已经落后于亚洲竞争对手——台积电和三星，后者已开始使用极紫外光刻（EUV）技术进行芯片生产。
因此，美国国防部希望借助Mapper 技术来小规模制造先进芯片，但前提是俄罗斯投资者Rusnano必须离开。为此，美国国防部也开始与美国军工厂商接洽，希望他们入股Mapper，以摆脱俄罗斯股东Rusnano，但是美国军工厂商对此似乎并不感兴趣。于是，美国国防部曾给SecureFoundry公司打了电话，该公司的创始人 Lex Keen 曾经是一名海军陆战队员和美国网络司令部的技术总监。
美国国防部暗示LexKeen介入Mapper，随后LexKeen与Mapper的管理团队进行了会面，并要求Kampherbeek为Mapper制定救援计划。根据他们的计划，美国特勤局将在Mapper订购两台机器，总价为2000万美元。如果美国国防部代表NSA提前支付这笔款项，那么SecureFoundry将获得向美国政府提供芯片机服务的分销权，而Mapper则能够继续获得新的资金和一些重要客户。美国国防部对此表示了积极的支持，但仍坚持要求俄罗斯投资者必须首先退出。
为此Lex Keen在阿姆斯特丹会见了 Rusnano 的代表。理想情况下，Rusnano 想让 Mapper 破产。但 Lex Keen 说服他们，通过将俄罗斯股东的利益交给外部信托来放弃他们对 Mapper 的控制权。随后，SecureFoundry 与荷兰经济事务部密切协商，Mapper 在那里仍有 3200 万欧元的未偿还贷款。Lex Keen 收到了荷兰驻华盛顿经济特使的签署声明：他们已获准投资 Mapper，荷兰经济事务部不必立即收回贷款，而且似乎没有什么能阻止救援。
2018年12月初，LexKeen在代尔夫特向Mapper的全体员工发表讲话。他表示，公司已成功完成了一项关键交易，从而避免了破产的命运。然而，当LexKeen次日返回时，他收到了一条来自员工的令人担忧的信息：美国国防部突然陷入了沉默，不再给予任何回应。原来，Mapper最终成为美国国防部内部权力斗争的牺牲品。尽管他们已经为国家安全局（NSA）的两台设备预留了2000万美元，但负责这笔交易的人还有一项其他需要支付的项目，而他的继任者则将这笔资金转移至另一项目，即支持英特尔生产国防芯片的工厂。
与此同时，美国军工业的一个利益集团也正在美国国防部内部干预对于 Mapper的投资案。2018年底，美国政府的转动速度比以往任何时候都慢。前总统老布什的葬礼使华盛顿瘫痪了好几天，当美国国防部再次试图为 Mapper 交易申请预算时，又遇到了另一堵墙——联邦政府关门。美国政府于 12 月 22 日封锁。美国民主党人正在阻止特朗普总统在墨西哥边境修建隔离墙的计划。在这期间，美国遭遇了历史上最长的35天预算冻结期。此时，Mapper已经没有多余的时间了，该公司的技术人员已经几个月没有拿到薪水了。
12月19日，Mapper已经申请了延期偿付。直到12月28日，Mapper仍未获得资助，最终宣布破产。美国对荷兰施加压力，表示必要时将销毁相关设备。当美国国防部意识到错过与Mapper的合作机会时，他们开始感到恐慌。美国政府担忧，随着Mapper的破产，其技术遗产可能会落入俄罗斯和中国手中。毕竟，俄罗斯的Rusnano是Mapper的主要股东之一，如果Mapper破产，其技术资产将由债权人处理，而当时Mapper在俄罗斯的业务仍在继续扩展。
此外，此前，Mapper已与中国投资者及中国SMEE公司进行了沟通，中国投资者对Mapper的Multibeam技术表现出浓厚兴趣，可能考虑收购其技术资产。尽管如此，荷兰政府并不认为Mapper破产后技术会流向俄罗斯或中国存在很大风险。然而，美国国防部在12月底向荷兰国防部和经济事务部发出了紧急信函，要求他们采取措施，防止Mapper的技术被中俄获取。
美国驻荷兰大使亲自敦促荷兰首相马克·吕特（Mark Rutte）：这项关键技术绝不能流入中国或俄罗斯，务必确保其留在荷兰境内，必要时应销毁。ASML公司在面对美国的压力下，荷兰经济事务及气候政策国务秘书莫娜·凯泽（Mona Keijzer）在2018年圣诞节前夕向当时的ASML首席执行官彼得·温宁克（Peter Wennink）求助，明确表示“你们必须收购Mapper”。她传达的信息是，如果中国或俄罗斯试图采取行动获取该技术，目前荷兰的法律尚无法阻止他们——尽管新的限制性法律正在制定中，但尚未得到批准。
就在Mapper宣布破产的次日，彼得·温宁克在BNR电台的采访中表示：“我们肯定会与他们进行沟通。”尽管ASML并未发现电子束技术在芯片制造中有任何显著优势，因为其EUV光刻机已经在各大芯片制造厂中广泛应用。然而，ASML对Mapper的技术和专利非常感兴趣，尤其是该技术在检测半导体缺陷方面的应用潜力。这项技术不仅能用于芯片制造，还能利用电子束来检测芯片的缺陷，这对于ASML来说是一个重要的补充。它不仅能够提高现有检测设备的效率，而且还有望成为ASML在美国硅谷工厂研发新型检测设备的重要组成部分。 从这个报道可以看出，ASML对新兴技术持开放态度，并且重视技术整合和创新。尽管Mapper面临破产，但其拥有的技术和专利仍然具有很高的价值，尤其是在半导体检测领域。这也反映了当前半导体行业竞争激烈，企业间的技术并购和技术合作变得越来越频繁。通过吸收Mapper的技术资源，ASML有望进一步巩固其在全球高端芯片制造设备领域的领先地位。同时，这也提醒了其他企业在发展过程中要注重技术研发和专利保护，以应对可能面临的市场挑战。
因此，时任ASML的技术总监MartinvandenBrink和研究主管JosBenschop曾多次前往代尔夫特拜访Mapper公司，与创始人MarcoWieland探讨合作的可能性。ASML方面甚至表达了对收购Mapper的兴趣，但起初并没有提出实质性的报价。直到2019年1月，由于财务困境，Mapper公司进入破产程序，其资产被受托人公开拍卖，以偿还最大债权人DelPrado基金以及荷兰经济事务部的债务。SecureFoundry的负责人LexKeen也参与了这次竞拍。 从这段历史中可以看出，大型企业如ASML对于小型技术公司的兴趣并非一蹴而就，而是经过长期观察与接触。这不仅反映了科技行业内部的竞争态势和技术需求的变化，同时也揭示了中小企业在成长过程中面临的资金压力和生存挑战。此外，这一事件也提醒我们，在全球化背景下，企业间的并购与重组已成为常态，如何在激烈的市场竞争中找到适合自身发展的道路，是每个企业家都需要认真思考的问题。
这位前海军陆战队员迅速吸引了荷兰投资者的兴趣，他们对竞购破产的Mapper公司表现出浓厚兴趣。与此同时，受托人仍在与中国的一家投资基金进行谈判。通过这些手段，他们希望提高竞拍价格。然而，这也违背了美国不允许Mapper技术流入中国的计划。不过，荷兰政府对此次拍卖的结果抱有明确期望：Mapper的技术必须留在荷兰境内。尽管这意味着ASML可能需要支付最高价，但该公司承诺遵循荷兰政府的指示，在Mapper的技术被中国企业收购之前将其接手。
ASML在拍卖会上的初始出价为3500万欧元，尽管有SecureFoundry等竞争对手参与竞标，但最终以7500万欧元成功收购了Mapper公司。随后，Mapper的240名员工也加入到了ASML团队。尽管Mapper并没有推出2.0版本的产品，但其电子束光刻技术仍在持续发展中。美国国防部和美国能源部曾试图说服ASML继续推进Mapper的多电子束光刻技术研发，以便生产具有唯一标识符的标准芯片。然而，ASML礼貌地拒绝了这一请求，并建议美国应考虑采用其他技术手段来实现这一目标。
ASML对Mapper2.0并不感兴趣，认为这会分散公司人才的精力。因此，在收购Mapper之后，ASML决定终止其电子束光刻机产品线。SecureFoundry则希望多电子束光刻机技术能够重新焕发活力。该公司于2021年将最后一台Mapper设备从欧洲运送到美国，并期待能获得ASML授予的Mapper技术许可证，但这种可能性极低。Marco Wieland也放弃了他之前的梦想，转而在ASML从事芯片检测系统方面的工作。
Bert Kampherbeek选择了一条不同的职业道路，他创立的新公司专注于开发用于种植郁金香的农业机器人，这一创新为荷兰的又一标志性出口产品增添了新的技术元素。尽管荷兰的Mapper公司已经破产，并被ASML收购，但其俄罗斯工厂却未受波及，在母公司破产后，该工厂完全转手给了Rusnano。目前，Mapper俄罗斯公司依然十分活跃，已成为俄罗斯军用无人机制造商Astron的一部分。自从俄乌冲突爆发以来，Mapper和Astron都成为了美国制裁的对象，这表明美国企业不能再与这两家公司有任何商业往来。 从这段新闻中可以看出，技术创新不仅能够推动特定行业的发展，还能跨越国界，影响全球市场。Bert Kampherbeek的故事展示了个人如何通过创新应对挑战，而Mapper公司的经历则揭示了国际政治局势对私营企业的深远影响。此外，这也反映了全球化背景下，单一国家的政治决策可以如何迅速改变跨国公司的命运。制裁措施不仅限制了这些公司的商业活动，还可能对其长期发展策略产生重大影响。
但是，俄罗斯正在全力以赴研发基于电子束光刻技术的设备，以实现本国芯片的自主化制造。尽管电子束光刻技术目前还存在效率不高的问题，但对于现阶段的俄罗斯而言，这仍然是一个可行的选择。此外，在美国、日本和荷兰联合对中国实施半导体设备限制的背景下，中国除了继续沿着ASML的DUV和EUV技术路线进行攻关外，也在研发基于电子束的光刻技术。同时，日本和奥地利的一些厂商也在开发用于掩模板制造的电子束光刻设备。